- Tytuł:
- Cienkie warstwy węglikoazotku krzemu wytwarzane z prekursora krzemoorganicznego w selektywnym procesie plazmowym CVD
- Autorzy:
-
Błaszczyk, I.
Wróbel, A.M. - Data publikacji:
- 2003
- Słowa kluczowe:
-
cienka warstwa
warstwa węglikoazotku krzemu
prekursor krzemoorganiczny
selektywny proces plazmowy CVD
wodór
azot
mieszanina
struktura chemiczna
morfologia powierzchni
właściwości warstwy
thin film
silicon carbonitride film
organosilicon precursor
remote plasma CVD
hydrogen
nitrogen
mixture
chemical structure
surface morphology
properties of film - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł