- Tytuł:
- Osadzanie i właściwości materiałów cienkowarstwowych otrzymywanych w procesie RP-CVD z różnych prekursorów krzemoorganicznych
- Autorzy:
-
Walkiewicz-Pietrzykowska, A.
Wróbel, A. M. - Data publikacji:
- 2012
- Słowa kluczowe:
-
selektywny proces plazmowy CVD
cienkie warstwy węglika krzemu
remote hydrogen plasma CVD
silicon carbide thin films - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech