- Tytuł:
- Amorphous a-C:N:H layers formation by Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition.
- Autorzy:
-
Dul, K.
Łagosz, I.
Jonas, S.
Ptak, W. - Data publikacji:
- 2001
- Słowa kluczowe:
-
warstwa amorficzna
chemiczne osadzanie z fazy gazowej wspomagane plazmowo
częstotliwość radiowa
częstotliwość mikrofalowa
skład chemiczny
struktura warstw
amorphous layer
radio frequency chemical vapour deposition
microwave chemical vapour deposition
plasma enhanced chemical vapour deposition
chemical deposition
structure of layers - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech