- Tytuł:
- Study of Sn-Cu-Al-Si phase diagrams for growth of silicon thin film by liquid phase epitaxy
- Autorzy:
-
Abdo, F.
Fave, A.
Lemiti, M.
Laugier, A.
Bernard, C.
Pish, A. - Data publikacji:
- 2006
- Słowa kluczowe:
-
metoda epitaksji
diagramy fazowe Cu-Al-Sn
wzrost warstwy krzemu
liquid phase epitaxy
Cu-Al-Sn phase diagrams
Si epitaxial growth
low temperature - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech