- Tytuł:
- Basic electrical and optical properties of protective SiCx and SiNy layers
- Autorzy:
-
Kania, S.
Wendler, B. G.
Jachowicz, M.
Zimnicki, J. - Data publikacji:
- 2007
- Słowa kluczowe:
-
powłoki SiCx
powłoki SiNy
właściwości optyczne
właściwości elektryczne - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech